La serie SpeedFam EP-X son pulidores de bordes de alto rendimiento para obleas de silicio de 300 mm, 200 mm y 150 mm. Además de nuestro exclusivo pulido de tres superficies (biseles superior e inferior y vértice de la oblea), también ofrecemos un pulido de espejo de la región de orientación y de la muesca para eliminar los daños y preparar todo el dominio del área del bisel del borde
SpeedFam ha enviado alrededor de 550 pulidores de bordes para obleas de primera calidad desde 1988. El pulidor de bordes SpeedFam es el estándar global en la preparación de bordes utilizado en las fábricas de obleas de primera calidad de todo el mundo. SpeedFam soporta la producción de obleas de 300mm, 200mm y 150mm.
La serie SpeedFam EP-X son pulidoras de bordes de alto rendimiento para obleas de silicio de 300 mm, 200 mm y 150 mm. Además de nuestro exclusivo pulido de tres superficies (biseles superior e inferior y vértice de la oblea), también ofrecemos un pulido de espejo de la región de orientación y de la muesca para eliminar los daños y preparar todo el dominio del área del bisel del borde.
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