Máquina pulidora para cerámica FAM5 seriesde placasautomáticade una cara
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Características
- Material mecanizado
- para cerámica
- Aplicaciones
- de placas
- Otras características
- automática, de una cara, de precisión, mecanoquímica
Descripción
- Las máquinas 50-SPAW y 59-SPAW de SpeedFam son sistemas automatizados de pulido mecanoquímico de una cara para el procesamiento de obleas de silicio desnudas. Transportamos las placas de montaje de cerámica (cargadas y descargadas con obleas) automáticamente. Estos sistemas están equipados con diversas tecnologías avanzadas, como placas de pulido de baja expansión térmica y camisas de refrigeración, accionamiento forzado independiente y control de presión de precisión para cada soporte de proceso.
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