El 20B-5P-4D es la especificación más última para pulir lateral doble de las obleas de 300m m o de 200m m. Con estabilidad sin par este sistema produce en masa 15 por cada uno obleas de 200m m por la hornada, y 5 por cada uno obleas de 300m m por la hornada. Éste es el sistema ideal para la alta llanura, la automatización baja de Nanotopography, el mantenimiento y el coste de la propiedad. El 20B05P-4D resuelve las demandas más severas para la precisión y rueda-apagado.
---