El MC es nuestro bloque de montaje interno de tamaño medio. Puede manejar objetivos de hasta 2500 mm y tiene una potencia nominal de hasta 100 kW DC o 80 kHz MFAC.
Los bloques finales SCI tienen una alta fiabilidad y un diseño sencillo y de fácil mantenimiento. La configuración de un solo extremo reduce el número de sellos rotativos y estáticos, uno de los modos de falla más comunes en los cátodos rotativos.
Nuestra exclusiva función de llenado y drenaje de agua permite mejorar el enfriamiento del objetivo y el drenaje completo del agua del objetivo en el momento del soplado. El diseño elimina la posibilidad de corrosión galvánica en el interior del bloque final, que podría provocar fugas de agua y cortocircuitos.
Los bloques finales MC de Sputtering Components pueden ser instalados en cualquier nueva torre de laca o pueden reemplazar fácilmente los sistemas planares.
Características
Tecnología patentada de suministro de energía
Método único de fijación del objetivo
Juntas rotativas duraderas y de larga duración
Montaje estándar de la industria en la tapa
Diseño de objetivo no patentado
Relleno de agua y drenaje patentados
La barra de imanes puede ser ajustada en cualquier ángulo
Beneficios
La mayor fiabilidad del mercado
Fácil de instalar o actualizar de los bloques de cierre de la competencia
El cambio de objetivo más rápido disponible
1 hora de mantenimiento anual; 3 horas de reconstrucción total del bloque final
El más bajo costo de mantenimiento
Utilizar los objetivos de cualquier proveedor
Alta potencia sin impacto de calentamiento inductivo - sin polvo de cepillo
No hay corrosión galvánica
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