Magnetrón rotativo TC-Series

de pulverización por bombardeo iónico

Los bloques finales internos de la serie TC tienen una tecnología de suministro de energía única en el diseño más compacto disponible. El TC puede manejar objetivos de hasta 1500 mm y tiene una potencia nominal de 40 kW DC o 80 kHz MFAC. Los bloques finales de montaje interno de SCI tienen una alta fiabilidad y un diseño sencillo y de fácil mantenimiento. La configuración de un solo extremo reduce el número de sellos rotativos y estáticos, uno de los modos de falla más comunes en los cátodos rotativos. Nuestra exclusiva función de llenado y drenaje de agua permite mejorar el enfriamiento del objetivo y el drenaje completo del agua del objetivo en el momento del soplado. El diseño elimina la posibilidad de corrosión galvánica en el interior del bloque final, que podría provocar fugas de agua y cortocircuitos. Los bloques finales de montaje interno TC de Sputtering Components pueden ser instalados en cualquier nueva torre de laca o pueden reemplazar fácilmente los sistemas planares. Características Tecnología patentada de suministro de energía Método único de fijación del objetivo Juntas rotativas duraderas y de larga duración El diseño más compacto disponible para los objetivos industriales estándar Diseño de objetivo no patentado Se ajusta a los tamaños de destino estándar Característica patentada de llenado/drenaje de agua de destino Beneficios Excelente fiabilidad Fácil de instalar Cambio rápido del objetivo 2 horas de mantenimiento anual; 3 horas de reconstrucción total del bloque final Coste de mantenimiento muy bajo Utilizar los objetivos de cualquier proveedor Excelente capacidad de potencia sin impacto de calentamiento inductivo - sin polvo de escobillas No hay corrosión galvánica