Magnetrón para montaje lateral MM Series
rotativo

Magnetrón para montaje lateral - MM Series - Sputtering Components - rotativo
Magnetrón para montaje lateral - MM Series - Sputtering Components - rotativo
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Características

Especificaciones
para montaje lateral, rotativo

Descripción

El MM es nuestro bloque final de montaje externo de tamaño medio. Puede manejar objetivos de hasta 2500 mm (soportados) y tiene una potencia nominal de hasta 100 kW DC o 80 kHz MFAC El bloque final de montaje externo de la serie MM utiliza la misma tecnología patentada que nuestro bloque final de la serie MC para ofrecer un valor, rendimiento y fiabilidad excepcionales en un diseño compacto Características Longitud del eje de transmisión personalizable Diseño compacto y flexible Cartucho de sellado de agua de fácil acceso Tecnología patentada de suministro de energía Llenado y drenaje de agua de destino patentado Diseño simple para menos piezas La barra magnética se ajusta externamente a cualquier ángulo Beneficios Mayor cobertura de sustrato que los bloques de extremo internos Se adapta a la mayoría de los diseños de cámara Todas las utilidades son externas y permanecen conectadas durante el cambio de destino Alta densidad de empaque; cátodos duales en un espacio de 350 mm Los motores de accionamiento pueden ser montados con montaje hacia arriba o hacia abajo y hacia adentro o hacia afuera Alta potencia sin impacto de calentamiento inductivo - sin polvo de cepillo Mantenimiento rápido y sencillo en la propia empresa Permite el co-sputtering, un acoplamiento de plasma más apretado y limita el recubrimiento de la pantalla

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