Equipo de detección de gas PPM100

El PPM100 es un controlador/monitor autónomo para analizadores de gases residuales SRS. Mide las presiones parciales de los RGA SRS y la presión total de hasta cuatro manómetros de capacitancia. Dispone de salida gráfica en una pantalla LCD táctil. El PPM100 incluye capacidad de control de procesos de 8 canales, cuatro puertos de E/S analógicos, interfaces de ordenador RS-232, USB y GPIB, y una interfaz web. Análisis de gases residuales El PPM100 está diseñado para supervisar y controlar un único SRS RGA. Una interfaz de usuario basada en menús permite al operador programar fácilmente los parámetros de la RGA desde el panel frontal (es decir, no se necesita un PC host). Los datos de la RGA pueden visualizarse como un barrido analógico, presión parcial en función del tiempo, tendencia de fugas (con señal acústica) o lecturas de masas individuales. Estos datos también pueden vincularse a alarmas, relés de control de procesos y puertos analógicos para el control en bucle cerrado de gases componentes específicos. Captura de pantalla 1 E/S analógicas El PPM100 tiene cuatro puertos analógicos de E/S configurables. Pueden utilizarse como salidas para controlar equipos de vacío auxiliares como calentadores, actuadores, fuentes de iones, controladores lógicos programables y controladores de aceleración. Como entradas, se pueden monitorizar simultáneamente hasta cuatro manómetros de capacitancia. Registro de datos Los datos de todos los manómetros (y de todas las entradas analógicas) se almacenan a una velocidad definida por el usuario. Las aplicaciones típicas incluyen la captura de curvas de bombeo o venteo, la monitorización de las señales del controlador de flujo másico durante los procesos de deposición y la monitorización de temperaturas y otras variables dependientes del tiempo durante el horneado o los tratamientos térmicos. Control de procesos El PPM100 proporciona ocho relés con sus correspondientes salidas TTL. Cada canal puede vincularse a una presión parcial específica