Sistema de posicionamiento multieje 782430:002.26

XYZ4 ejeslineal

Portal de inspección doble XYZ para semiconductores Personalizable - Ideal para la inspección automatizada de obleas / semiconductores - Gran recorrido de 2 x 720 x 720 x 100 mm cada uno - Permite la integración de dos procesos simultáneamente Este sistema de inspección consta de cuatro ejes para sala blanca y permite la medición automatizada de varios objetos simultáneamente. Se consigue una alta dinámica y la máxima reproducibilidad. Una cámara o sensor de alta resolución por lado se desplaza con respecto a la muestra para inspeccionar geometrías, realizar mediciones y documentar características especiales de calidad. Especificaciones - Carrera: 2 x cada uno 720 x 720 x 100 mm - 2x ejes X cada uno para escáneres / microscopios de hasta 25 kg - 2x ejes Y cada uno para mandriles de hasta 23 kg / obleas de hasta 12" / 300 mm - repetibilidad: 1,5 - ± 0,3 µm - Velocidad: 750 - 1500 mm (XY) / 150 - 300 (Z) - Carga máx: 150 N (XY) / 200 N (Z) - Accionamiento: motor lineal (sin hierro), raíl perfilado (XY) | husillo a bolas, servo AC (Z) - Retroalimentación: escala lineal, codificador del motor - Controlador de movimiento: FMC-250/280, ACS, integración PLC - Clase de sala limpia: ISO 2 Opciones personalizadas: - Adaptación al proceso, portamuestras, cabezal / sensor - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Bastidor, aislamiento de vibraciones, cerramiento, concepto de seguridad - Conexiones para cubiertas de cintas de aspiración y circulación - Ampliación de grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz - Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento