XZ System für Labor- und Waferinspektion
Personalizable:
- Ideal para la configuración y ampliación de su aplicación
- Repetibilidad de alta precisión de hasta 0,4 µm
- Pasos más pequeños y máxima fiabilidad a una velocidad de posicionamiento comparativamente alta de 50 mm/s
- Planitud perfecta de ± 1 para posicionar cargas medias de hasta 5 kg
La combinación XZ se compone de los ejes lineales estándar de alta precisión y durabilidad de la PMT160. Esta combinación es adecuada para todas las aplicaciones que requieren una planitud perfecta, tolerancias mínimas en cabeceo y guiñada y un comportamiento de marcha suave.
Especificaciones:
- Componente estándar: PMT160-DC (XZ)
- Recorrido: 300 mm (X) / 100 mm (Z)
- Repetibilidad: ± 0,4 - ± 2,2 µm (XZ)
- Velocidad de posicionamiento: 25 mm/s (X) / 1,12 mm/s (Z)
- Carga máx: 45 N (X) / 150 N (Z)
- Motor: Motor DC, husillo a bolas
- Retroalimentación: Escala lineal
Opciones personalizadas:
- Diferentes recorridos por eje de 50 - 300 mm
- Movimientos giratorios en combinación con DT130 o DT200
- Distintas variantes de motor: Motor de corriente continua, motor paso a paso, motor lineal y nanomotion
- Uso inmediato con controlador preconfigurado incl. software de ejemplo
- Versiones para sala blanca ISO 14644-1
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