Sistema de posicionamiento XZ 782300:186.26
2 ejeslinealpara inspección de obleas y metrología

sistema de posicionamiento XZ
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Características

Número de ejes
XZ, 2 ejes
Estructura
lineal
Aplicaciones
para inspección de obleas y metrología, para aplicaciones de laboratorio
Otras características
de husillo de bolas, con motor DC, de alta resolución, módulos combinados, con controlador, de alta precisión
Repetibilidad

Máx.: 2,2 µm

Mín.: 0,4 µm

Carrera

Máx.: 300 mm
(11,81 in)

Mín.: 100 mm
(3,94 in)

Velocidad

Máx.: 25 mm/s

Mín.: 1,12 mm/s

Descripción

XZ System für Labor- und Waferinspektion Personalizable: - Ideal para la configuración y ampliación de su aplicación - Repetibilidad de alta precisión de hasta 0,4 µm - Pasos más pequeños y máxima fiabilidad a una velocidad de posicionamiento comparativamente alta de 50 mm/s - Planitud perfecta de ± 1 para posicionar cargas medias de hasta 5 kg La combinación XZ se compone de los ejes lineales estándar de alta precisión y durabilidad de la PMT160. Esta combinación es adecuada para todas las aplicaciones que requieren una planitud perfecta, tolerancias mínimas en cabeceo y guiñada y un comportamiento de marcha suave. Especificaciones: - Componente estándar: PMT160-DC (XZ) - Recorrido: 300 mm (X) / 100 mm (Z) - Repetibilidad: ± 0,4 - ± 2,2 µm (XZ) - Velocidad de posicionamiento: 25 mm/s (X) / 1,12 mm/s (Z) - Carga máx: 45 N (X) / 150 N (Z) - Motor: Motor DC, husillo a bolas - Retroalimentación: Escala lineal Opciones personalizadas: - Diferentes recorridos por eje de 50 - 300 mm - Movimientos giratorios en combinación con DT130 o DT200 - Distintas variantes de motor: Motor de corriente continua, motor paso a paso, motor lineal y nanomotion - Uso inmediato con controlador preconfigurado incl. software de ejemplo - Versiones para sala blanca ISO 14644-1

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