MP410-3 Alineador de alto vacío hasta 10E-6 mbar
Personalizable:
- Ideal para mediciones de transferencia en vacío hasta 10-6 mbar
- Diseñado para muestras grandes con una apertura de 235 mm
- Alta repetibilidad de hasta 1 µm con una capacidad de carga de 5 kg
- Transmisión de fuerza ideal gracias al uso del husillo de bolas sin holgura 1214
- Relación calidad/precio optimizada con parámetros de funcionamiento precisos
Con este alineador se realizan segundos movimientos de traslación de 15 mm en el plano y una rotación alrededor de la vertical de hasta ± 5 grados. El movimiento R (Phi) resulta de la combinación XY.
Especificaciones:
- Componente estándar: LA85 (XYRz)
- Recorrido: ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z)
- Repetibilidad: ± 1,6 - ± 2,1 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz)
- Velocidad de posicionamiento: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz)
- Carga máx: 250 N (XYRz)
- Motor: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb
- Retroalimentación: Lazo abierto
Opciones personalizadas:
- Adaptación al proceso: apertura, soporte, alimentador, sensor
- Configuración para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido)
- Diseño individual con bastidor, aislamiento de vibraciones, cerramiento
- Desarrollo de soluciones individuales con diseño en 3D para la tarea de posicionamiento
---