Sistema de posicionamiento 3 ejes 782476:001.26
horizontalrotativoautomático

sistema de posicionamiento 3 ejes
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Características

Número de ejes
3 ejes
Estructura
automático, rotativo, horizontal
Aplicaciones
para inspección de obleas y metrología, para la industria de los semiconductores, para la industria farmacéutica
Otras características
compacto, de husillo de bolas, de precisión, por motor paso a paso, de alto vacío
Repetibilidad

0,8 µm, 1 µm

Carga

5 kg
(11,02 lb)

Carrera

5 mm, 15 mm
(0,2 in, 0,59 in)

Velocidad

2 mm/s

Descripción

MP410-3 Alineador de alto vacío hasta 10E-6 mbar Personalizable: - Ideal para mediciones de transferencia en vacío hasta 10-6 mbar - Diseñado para muestras grandes con una apertura de 235 mm - Alta repetibilidad de hasta 1 µm con una capacidad de carga de 5 kg - Transmisión de fuerza ideal gracias al uso del husillo de bolas sin holgura 1214 - Relación calidad/precio optimizada con parámetros de funcionamiento precisos Con este alineador se realizan segundos movimientos de traslación de 15 mm en el plano y una rotación alrededor de la vertical de hasta ± 5 grados. El movimiento R (Phi) resulta de la combinación XY. Especificaciones: - Componente estándar: LA85 (XYRz) - Recorrido: ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - Repetibilidad: ± 1,6 - ± 2,1 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Velocidad de posicionamiento: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - Carga máx: 250 N (XYRz) - Motor: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb - Retroalimentación: Lazo abierto Opciones personalizadas: - Adaptación al proceso: apertura, soporte, alimentador, sensor - Configuración para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Diseño individual con bastidor, aislamiento de vibraciones, cerramiento - Desarrollo de soluciones individuales con diseño en 3D para la tarea de posicionamiento

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