Sistema de posicionamiento 3 ejes 782459:003.26

automáticopara inspección de obleas y metrologíapara la industria de los semiconductores

MP700-3 Alineador 3D plano Personalizable: - Ideal para la alineación de alta precisión de grandes sustratos, máscaras, marcos - Adecuado para muestras grandes con una apertura de 730 x 730 mm - Alta repetibilidad de hasta 0,4 µm / ± 0,0002° para cargas de hasta 28 kg - Diseño ultraplano de 990 x 1090 x 225 mm - Bajo mantenimiento y bajo nivel de partículas mediante cojinete neumático y accionamiento directo Con este alineador se realizan movimientos de traslación de ± 5 mm en el plano y una rotación alrededor de la vertical de ± 3°. El movimiento R (Phi) es el resultado de la combinación XY de los ejes. Especificaciones: - Recorrido: ± 5 mm (XY) / ± 3 mm (Rz) - Repetibilidad: ± 0,4 - ± 0,7 µm (XY) / ± 0,0002 - ± 0,0003 µm (Rz) - Velocidad de posicionamiento: 50 - 100 mm/s (XY) / 10 - 20 mm/s (Rz) - Carga máx: 5 N (XY) / 100 N (Rz) - Apertura: 730 x 730 mm - Motor: Motor lineal dinámico sin hierro (XYRz) - Guía: Cojinete neumático (XYRz) - Retroalimentación: Encoder lineal (XYRz) - Länge x Breite x Höhe: 990 x 1090 x 225 mm - Material: Aluminio anodizado Aluminio anodizado Opciones personalizadas: - Adaptación al proceso: apertura, soporte, alimentador, extensión de Z-Motion - Configuración para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Diseño individual con bastidor, aislamiento de vibraciones, cerramiento - Desarrollo de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento