Sistema de posicionamiento 5 ejes 782497:006.26

hexápodorotativopara la industria de los semiconductores

MP200-5 Sistema de posicionamiento XYZ Phi Delta en miniatura Personalizable: - resolución ultra alta de hasta 0,007 µm - máxima precisión de posicionamiento con ± 1,5° en Rx y Ry - capacidad de carga de hasta 20 N - movimientos finísimos de hasta 0,07 µm gracias a los robustos accionamientos de rosca deslizante autoretenidos - máxima resistencia a las interferencias gracias a las sólidas juntas de cojinetes - repetibilidad absolutamente constante de hasta ± 0,5 µm utilizando todos los grados de libertad - muy compacta gracias a la electrónica de control de 5 ejes integrada - la conexión al sistema superior se realiza mediante una sencilla fuente de alimentación y una interfaz de datos estándar La platina de centrado y nivelación motorizada mueve sus cinco grados de libertad de forma extremadamente uniforme. El sistema puede moverse en las tres direcciones. También puede inclinarse dos ángulos en planitud. Especificaciones: - Componente estándar: MT63-SM - Recorrido: 4 mm (XYZ) / 3 mm (RxRy) - Repetibilidad: ± 0,07 - ± 1 µm (XYZ) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (RxRy) - Velocidad de posicionamiento: 0,5 mm/s (XY) / 0,4 mm/s (RxRy) - Carga máx: 20 N - Motor: Motor paso a paso (SM), correa de rosca deslizante - Retroalimentación: Motor-Encoder - Luz transmitida: 45 mm