Sistema de posicionamiento multieje 782497:008.26

hexápodorotativopara inspección de obleas y metrología

MP200-3 Sistema de posicionamiento Z-Phi Delta en miniatura, trípode Como complemento del alineador MP200-5, que permite el ajuste en cinco grados de libertad, este alineador se ha diseñado con tres grados de libertad. Consta internamente de tres ejes de precisión que actúan verticalmente y que están conectados al plato de carga móvil mediante articulaciones sólidas. Así, el plato de carga puede inclinarse en dos ejes y también ajustarse en altura. Dado que la alineación de las piezas de trabajo suele ser suficiente, el ajuste vertical puede utilizarse para compensar paquetes de lentes de diferentes alturas, especialmente en el montaje de ópticas. Además, a partir de este manipulador y una mesa de luz de transmisión transversal o una mesa en cruz, puede realizarse un manipulador de 5 ejes con un gran rango de recorrido en XY. Por ejemplo, los sistemas KDT310, KT310 o KDT235 pueden utilizarse como sistemas XY. Especificaciones: - Componente estándar: MT63-SM (Z, Rx, Ry) - Recorrido: 4 mm (Z) / 3 mm (Rx, Ry) - Repetibilidad: ± 0,07 - ± 1 µm (Z) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (Rx, Ry) - Velocidad de posicionamiento: 0,5 mm/s (Z) / 0,4 mm/s s (Rx, Ry) - Carga máx: 20 N - Motor: Motor paso a paso (SM), correa de rosca deslizante - Retroalimentación: Motor-Encoder - Luz transmitida: 45 mm