Sistema de posicionamiento multieje 782300:056.26

2-3 ejesautomáticopara la industria de los semiconductores

MP53-2-1 Sistema de posicionamiento XY-Phi en miniatura Sistema Phi-XY con motor piezoeléctrico Pequeño manipulador para movimiento xy y rotación. Recorrido lineal de 10 mm y ± 5 grados en rotación. Resolución extremadamente alta en el rango en nm mediante accionamientos piezoeléctricos. La rotación se realiza mediante una etapa lineal que actúa sobre un cojinete giratorio por medio de un acoplamiento flexible. Articulación fija para alinear piezas El sistema de tres ejes está pensado para alinear piezas y muestras. Dado que para este tipo de movimientos correctivos sólo bastan pequeños recorridos de unos pocos milímetros o grados, se puede generar un movimiento giratorio con una etapa lineal si ésta transmite su movimiento a una etapa giratoria, que de otro modo sería pasiva, mediante una junta de estado sólido. La ventaja de una junta de estado sólido de este tipo es que transfiere por completo la precisión de la etapa lineal a la etapa giratoria. Si la desviación se mantiene por debajo de 5 grados, la rigidez de esta junta también sigue siendo suficiente para transmitir movimientos en el rango nanométrico en las direcciones de tracción y compresión. Especificaciones: - Sistema estándar: MT53-PM (XYRz) - Recorrido: 10 mm - Repetibilidad: ± 0,4 - ± 0,7 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Velocidad de posicionamiento: 5 - 10 mm/s (XY) / 5 - 20 mm/s (Rz) - Carga máx: 5 N - Motor: Piezo Motor, Rodamientos de rodillos cruzados - - Retroalimentación: Escala lineal - Longitud x Anchura x Altura: 121 x 85 x 76 mm