sistema de posicionamiento XYZ-Theta-Phi-Delta en miniatura de 6 ejes (sala blanca ISO 5)
Personalizable:
- Ideal para la inspección automatizada de obleas y ópticas de hasta 300 mm / 12"
- Alta repetibilidad de ± 2,5 µm o ± 0,005°
- Extraordinaria precisión, rigidez y compacidad con unas dimensiones de 520 x 600 x 155 mm
- Diseñada para funcionar en 3 turnos hasta la clase de sala blanca ISO 5
El manipulador de 6 ejes incluye una platina XY en el eje horizontal y un trípode para recorridos verticales y dos inclinaciones, que combina los puntos fuertes de los diseños de cinemática cartesiana y paralela en un solo sistema.
Especificaciones:
- Sistema estándar: MT95 (XY) / 3x MT95 (Z, Rx, Ry)
- Recorrido: 30 mm (XY) / 20 mm (Z) / 4 mm (Rx, Ry) / n x 360 (Rz)
- Repetibilidad: ± 1,5 - ± 3,5 µm (XYZ) / 0,0004 - 0,001 µm (Rx, Ry) / 0,05 - 0,1 µm (Rz)
- Velocidad de posicionamiento: 1,1 - 2 mm/s (XYZ) / 0,03 -0,5 mm/s (Rx, Ry) / 100 - 200 mm/s (Rz)
- Carga máx: 65 N (X, Y, Rx, Ry) / 100 N (Z) / 20 N (Rz)
- Motor: Motor DC, Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen (X,Y, Rx, Ry) / Schrittmotor, Riemen (Rz)
- Retroalimentación: Motor-Encoder
- Longitud x anchura x altura: 520 x 600 x 155 mm
Opciones personalizadas:
- Aplicación específica probada y lista para su uso inmediato con controlador de movimiento plug-and-play incl. software de muestra
- Versión especial para muestras de hasta 450 mm / 18"
- Diferentes versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido)
- Sistema multiejes modular con cabezales de proceso personalizados / intercambiables
- Diferentes portamuestras, integración en flujos de trabajo
- Desarrollo de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento
---