Platina de posicionamiento lineal LA80

eléctrica1 ejede precisión

LA80 Eje lineal UHV de alta velocidad Aplicación: etapa de transporte rápido Ventaja: larga vida útil a pesar de la lubricación en seco Características: accionamiento por husillo de bolas con lubricación en seco - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Temperatura máx. de horneado 120°C Opciones: - Opcionalmente con y sin sistema de medición - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Combinable con un sistema rápido de transferencia XYZ (p. ej. LA90, LA95, LA170) - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con controlador de movimiento FMC400/450 Datos técnicos - Recorrido: 200mm - 500mm - Repetibilidad: ± 3µm, ± 0,3µm (unidireccional) ± 4µm, ± 0,5µm (bidireccional) - Carga: → 49 N / ↑ 9 N - Velocidad máx. Velocidad: 100 mm/s - Motor: Motor paso a paso - Rodamientos: Guías de bolas de recirculación híbridas de acero inoxidable - Retroalimentación: Lazo abierto, escala lineal - Resolución de realimentación: ± 0,5 µm