- Mecánica - Transmisión de potencia
- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal LA80eléctrica1 ejede precisión
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- eléctrica
- Número de ejes
- 1 eje
- Otras características
- de precisión, aluminio, industrial, compatible de vacío, de alta velocidad, de carrera larga, de manipulación de obleas
- Carrera
Mín.: 1 mm
(0,039 in)Máx.: 500 mm
(19,685 in)- Velocidad
Mín.: 1 mm/s
Máx.: 100 mm/s
- Repetibilidad
Mín.: 0,3 µm
Máx.: 5 µm
- Carga
Mín.: 0,9 kg
(1,98 lb)Máx.: 4,9 kg
(10,8 lb)
Descripción
LA80
Eje lineal UHV de alta velocidad
Aplicación: etapa de transporte rápido
Ventaja: larga vida útil a pesar de la lubricación en seco
Características: accionamiento por husillo de bolas con lubricación en seco
- Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético
- Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar
- Temperatura máx. de horneado 120°C
Opciones:
- Opcionalmente con y sin sistema de medición
- Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación
- Combinable con un sistema rápido de transferencia XYZ (p. ej. LA90, LA95, LA170)
- Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara
- Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido)
- Opcional con controlador de movimiento FMC400/450
Datos técnicos
- Recorrido: 200mm - 500mm
- Repetibilidad:
± 3µm, ± 0,3µm (unidireccional)
± 4µm, ± 0,5µm (bidireccional)
- Carga: → 49 N / ↑ 9 N
- Velocidad máx. Velocidad: 100 mm/s
- Motor: Motor paso a paso
- Rodamientos: Guías de bolas de recirculación híbridas de acero inoxidable
- Retroalimentación: Lazo abierto, escala lineal
- Resolución de realimentación: ± 0,5 µm
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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