Platina de posicionamiento lineal LA170

con motor lineal1 ejede rodillos cruzados

LA170 Eje lineal XYZ de alta carga y precisión Aplicación: Etapa de transporte, etapa de exploración para cargas elevadas Ventaja: Alta vida útil a pesar de la lubricación en seco Características: husillo con lubricación seca o husillo de bolas con lubricación líquida - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Temperatura máx. de horneado 120°C Opciones: - Selección del material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos - Recorrido: 60 mm - 130 mm - Repetibilidad: ± 2,8 µm, ± 0,4 µm (unidireccional) ± 4 µm, ± 0,5 µm (bidireccional) - Carga: → 196 N / ↑ 196 N - Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s - Motor: Motor paso a paso - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbrido - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de realimentación: ± 0,1 µm