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Platina de posicionamiento lineal LT300
eléctrica1 ejede precisión

platina de posicionamiento lineal
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Características

Orientación
lineal
Tipo
eléctrica
Número de ejes
1 eje
Otras características
de precisión, aluminio, industrial, compatible de vacío, de alta carga, de manipulación de obleas, de husillo de bolas, de rodillos cruzados, de husillo madre
Carrera

Mín.: 1 mm
(0,039 in)

Máx.: 100 mm
(3,937 in)

Velocidad

Mín.: 1 mm/s

Máx.: 10 mm/s

Repetibilidad

Mín.: 0,4 µm

Máx.: 5 µm

Carga

Mín.: 4,4 kg
(9,7 lb)

Máx.: 12 kg
(26,46 lb)

Descripción

LT300 Etapa lineal precisa de alta carga Aplicación: Etapa de transporte, etapa de exploración para cargas elevadas Ventaja: larga vida útil a pesar de la lubricación en seco Características: husillo con lubricación seca o husillo de bolas con frenos piezoeléctricos líquidos para estabilidad nm - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Temperatura máx. de horneado 120°C Opciones: - Disponible con ruptura piezoeléctrica - Selección del material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos - Recorrido: 50 mm - 100 mm - Repetibilidad: ± 2,4 µm, ± 0,4 µm (unidireccional) ± 1,9 µm (bidireccional) - Carga: → 44 N / ↑ 120 N - Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s - Motor: Motor paso a paso - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbridos - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de realimentación: ± 0,1 µm

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