- Mecánica - Transmisión de potencia
- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal LA97piezoeléctrica1 ejede precisión
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- piezoeléctrica
- Número de ejes
- 1 eje
- Otras características
- de precisión, aluminio, industrial, compatible de vacío, guiada sin fricción, de manipulación de obleas, de rodillos cruzados
- Carrera
Mín.: 1 mm
(0,039 in)Máx.: 300 mm
(11,811 in)- Velocidad
Mín.: 1 mm/s
Máx.: 10 mm/s
- Repetibilidad
Mín.: 0,015 µm
Máx.: 5 µm
- Carga
Mín.: 1,9 kg
(4,19 lb)Máx.: 9,8 kg
(21,61 lb)
Descripción
LA97
Etapa lineal nanométrica
Aplicación: escaneado
Ventaja: posicionamiento nanométrico, también en vertical
Características: posicionamiento con resolución extrema y máxima rigidez puede equiparse con 2 (o 4) motores
- Vacío: todos los rangos de presión HV / UHV hasta 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético | de bajo magnetismo | sin imanes
- Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar
- Temperatura máx. de horneado 120°C
Opciones:
- Disponibles versiones magnéticas, de bajo nivel magnético y sin imanes
- Selección del material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación
- Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara
- Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido)
- Opcional con controlador FMC400/450
Datos técnicos
- Recorrido: 100 mm - 300 mm
- Repetibilidad:
± 0,015 µm (unidireccional)
± 0,02 µm (bidireccional)
- Carga: → 98 N / ↑ 58 N
- Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s
- Motor: Piezo Motor
- Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados acero inoxidable, híbrido , opcional cerámica completa
- Retroalimentación: Escala lineal
- Resolución de realimentación: ± 0,1 µm
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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