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Platina de posicionamiento lineal MT53
piezoeléctrica1 ejede precisión

platina de posicionamiento lineal
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Características

Orientación
lineal
Tipo
piezoeléctrica
Número de ejes
1 eje
Otras características
de precisión, aluminio, en miniatura, industrial, compatible de vacío, de manipulación de obleas, de rodillos cruzados
Carrera

Máx.: 10 mm
(0,394 in)

Mín.: 1 mm
(0,039 in)

Velocidad

Máx.: 10 mm/s

Mín.: 0,2 mm/s

Repetibilidad

Máx.: 5 µm

Mín.: 0,2 µm

Carga

Máx.: 0,9 kg
(1,98 lb)

Mín.: 0,5 kg
(1,1 lb)

Descripción

MT53 Microplatina de alta resolución Aplicación: microplatina multiuso Ventaja: para escaneado de alta resolución Características: posicionamiento con muy alta resolución - Vacío: todos los rangos de presión HV /UHV hasta 10E-11 mbar - Lubricación: líquida hasta 10E-8mbar / seca hasta 10E-11mbar - Magnetismo: magnético - Temperatura máx. de horneado 120°C Opciones: - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos: - Recorrido: 10 mm - Repetibilidad: - ± 0,2 µm (unidireccional) ± 0,3 µm (bidireccional) - Carga: → 5 N / ↑ 8,8 N - Máx. Velocidad: 0,2 mm/s - Motor: Motor piezoeléctrico - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de retroalimentación: ± 0,1µm

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