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Platina de posicionamiento lineal MT105
piezoeléctrica1 ejede precisión

platina de posicionamiento lineal
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Características

Orientación
lineal
Tipo
piezoeléctrica
Número de ejes
1 eje
Otras características
de precisión, aluminio, industrial, en miniatura, compatible de vacío, de manipulación de obleas, de rodillos cruzados
Carrera

Máx.: 100 mm
(3,937 in)

Mín.: 1 mm
(0,039 in)

Velocidad

Máx.: 100 mm/s

Mín.: 1 mm/s

Repetibilidad

Máx.: 5 µm

Mín.: 0,2 µm

Carga

Máx.: 5,5 kg
(12,13 lb)

Mín.: 0,4 kg
(0,88 lb)

Descripción

MT105 Aplicación: microplatina multiuso Ventaja: para escaneado de alta resolución Características: posicionamiento con muy alta resolución - Vacío: todos los rangos de presión HV /UHV hasta 10E-11 mbar - Lubricación: líquida hasta 10E-8mbar / seca hasta 10E-11mbar - Magnetismo: magnético / poco magnético / sin imán - Temperatura máx. de horneado 120°C Opciones: - Disponible en versión magnética, poco magnética y sin imanes - Con hasta 2 motores diferentes para el movimiento de cargas elevadas - Combinable con el sistema de posicionamiento XYZ - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos: - Recorrido: 100 mm - Repetibilidad ± 0,4 µm (unidireccional) ± 0,5 µm (bidireccional) - Carga: → 4 N / ↑ 55 N - Velocidad máx. Velocidad: 100 mm/s - Motor: Motor piezoeléctrico - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de retroalimentación: 0.005 µm - 1 µm

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