KT105-50
Platina XY de alta resolución
Aplicación: platina XY de vacío
Ventaja: rápida y alta resolución
Características: parámetros de guiñada y cabeceo tres veces mejores que la variante con apertur
- Vacío: todas las áreas HV / UHV hasta 10-11 mbar
- Magnetismo: magnético | poco magnético | sin imanes
- Lubricación: líquida hasta 10-8 / seca hasta 10-11 mbar
- Temperatura máx. de horneado 120°C
Opciones:
- Con y sin apertura
- Disponible en versión magnética, de bajo contenido magnético y sin imanes
- Diferentes variantes de motor: Nanomotion o motor piezoeléctrico
- Combinable con sistema de posicionamiento XYZ (p. ej. MT105)
- Combinable con platinas giratorias (p. ej. DT105) para aplicaciones giratorias
- Opcional con controlador FMC400/450
Datos técnicos
- Recorrido: 50 mm
- Repetibilidad
± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidireccional)
± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidireccional
- Carga: → 5 N, 4N / ↑ 45 N
- Máx. Velocidad: 10/50 mm/s
- Motor: Piezo Motor / Nanomotion
- Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados acero inoxidable, híbrido, opcional cerámica completa
- Retroalimentación: Escala lineal
- Resolución de realimentación 0.001 µm - 0,1 µm
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