- Mecánica - Transmisión de potencia
- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal KDT120piezoeléctrica2 ejesde precisión
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- piezoeléctrica
- Número de ejes
- 2 ejes
- Otras características
- de precisión, aluminio, industrial, compatible de vacío, de manipulación de obleas, de rodillos cruzados
- Carrera
Máx.: 24 mm
(0,945 in)Mín.: 1 mm
(0,039 in)- Velocidad
Máx.: 5 mm/s
Mín.: 1 mm/s
- Repetibilidad
Máx.: 5 µm
Mín.: 0,03 µm
- Carga
Máx.: 4,5 kg
(9,92 lb)Mín.: 0,5 kg
(1,1 lb)
Descripción
KDT120-20
Platina XY de alta resolución
Aplicación: platina XY de vacío
Ventaja: rápida y alta resolución
Características: parámetros de guiñada y cabeceo tres veces mejores que la variante con abertura
- Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar
- Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético / poco magnético / sin imán
- Máx. Temperatura de horneado 120°C
Opciones:
- Con y sin apertura
- Disponible en versión magnética, de bajo contenido magnético y sin imanes
- Diferentes variantes de motor: Nanomotion o motor piezoeléctrico
- Combinable con sistema de posicionamiento XYZ (p. ej. MT105)
- Combinable con platinas giratorias (p. ej. DT105) para aplicaciones giratorias
- Opcional con controlador FMC400/450
Datos técnicos:
- Recorrido: 24 mm
- Repetibilidad: -
± 0,03 µm (unidireccional) -
± 0,05 µm (bidireccional)
- Carga: → 5 N / ↑ 45 N
- Velocidad máx. Velocidad: - 5 mm/s
- Motor: Motor piezoeléctrico
- Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados acero inoxidable, híbrido, opcional cerámica completa
- Retroalimentación: Escala lineal
- Resolución de realimentación: 0.005 µm - 0,1µm
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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