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Platina de posicionamiento lineal HT160
eléctrica1 ejede precisión

Platina de posicionamiento lineal - HT160 - Steinmeyer Holding GmbH - eléctrica / 1 eje / de precisión
Platina de posicionamiento lineal - HT160 - Steinmeyer Holding GmbH - eléctrica / 1 eje / de precisión
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Características

Orientación
lineal
Tipo
eléctrica
Número de ejes
1 eje
Otras características
de precisión, aluminio, industrial, compatible de vacío, de manipulación de obleas, en lazo abierto, de rodillos cruzados
Carrera

Mín.: 1 mm
(0,039 in)

Máx.: 16 mm
(0,63 in)

Velocidad

Mín.: 1 mm/s

Máx.: 2,2 mm/s

Repetibilidad

Mín.: 1 µm

Máx.: 5 µm

Carga

Mín.: 4,5 kg
(9,92 lb)

Máx.: 5 kg
(11,02 lb)

Descripción

HT160 Etapa precisa de elevación vertical de cargas elevadas Aplicación: plataforma elevadora por vacío Ventaja: alta rigidez y carga Características: cuña con husillo a bolas - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Disponible en versión magnética - Máx. Temperatura de horneado 120°C Opciones: - Selección del material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos: - Recorrido: 16 mm - Repetibilidad ± 1 µm, ± 1,7 µm (unidireccional) ± 1,7 µm, ± 2 µm (bidireccional) - Carga: → 50 N / ↑ 45 N - Máx. Velocidad: 2,2 mm/s - Motor: Motor paso a paso - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbridos - Retroalimentación: Lazo abierto, escala lineal - Resolución de realimentación: ninguna o lineal

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