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Platina de posicionamiento lineal HDT255
eléctrica1 ejede precisión

Platina de posicionamiento lineal - HDT255 - Steinmeyer Holding GmbH - eléctrica / 1 eje / de precisión
Platina de posicionamiento lineal - HDT255 - Steinmeyer Holding GmbH - eléctrica / 1 eje / de precisión
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Características

Orientación
lineal
Tipo
eléctrica
Número de ejes
1 eje
Otras características
de precisión, aluminio, industrial, compatible de vacío, de manipulación de obleas, en lazo abierto, de rodillos cruzados
Carrera

Mín.: 1 mm
(0,039 in)

Máx.: 16 mm
(0,63 in)

Velocidad

Mín.: 1 mm/s

Máx.: 16,6 mm/s

Repetibilidad

Mín.: 0,7 µm

Máx.: 5 µm

Carga

Mín.: 0,5 kg
(1,1 lb)

Máx.: 9,8 kg
(21,61 lb)

Descripción

HDT255 Mesa elevadora de gran apertura de carga Aplicación: mesa elevadora de vacío Ventaja: - alta rigidez y carga, apertura Características: plataforma de cuña con apertura - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Máx. Temperatura de horneado 120°C Opciones: - Con o sin apertura - Diferentes recorridos- - Opcionalmente con y sin sistema de medición - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcionalmente con controlador FMC400/450 Datos técnicos: - Recorrido: 16 mm - Repetibilidad ± 2,9 µm, ± 0,7 µm (unidireccional) ± 4 µm, ± 1 µm (bidireccional) - Carga: 98 N - Velocidad máx. Velocidad: 16,6 mm/s - Motor: Motor paso a paso - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbrido - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de realimentación 0.1 µm

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Traducción automática  (ver el original en inglés)

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