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Platina de posicionamiento lineal HT240
eléctrica1 ejede precisión

Platina de posicionamiento lineal - HT240 - Steinmeyer Holding GmbH - eléctrica / 1 eje / de precisión
Platina de posicionamiento lineal - HT240 - Steinmeyer Holding GmbH - eléctrica / 1 eje / de precisión
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Características

Orientación
lineal
Tipo
eléctrica
Número de ejes
1 eje
Otras características
de precisión, aluminio, compatible de vacío, de manipulación de obleas, en lazo abierto, de rodillos cruzados
Carrera

Máx.: 25 mm
(0,984 in)

Mín.: 1 mm
(0,039 in)

Velocidad

Máx.: 3,4 mm/s

Mín.: 1 mm/s

Repetibilidad

Máx.: 5 µm

Mín.: 0,3 µm

Carga

Máx.: 44 kg
(97 lb)

Mín.: 0,5 kg
(1,1 lb)

Descripción

HT240 Etapa precisa de elevación vertical de cargas elevadas Aplicación: Plataforma elevadora por vacío Ventaja: alta rigidez y carga Características: cuña con husillo a bolas - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10-11 mbar - Lubricación líquida hasta 10-8 / seca hasta 10-11 mbar - Magnetismo: magnético - Máx. Temperatura de horneado 120°C Opción: - Selección del material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos - Recorrido: - 25 mm - Repetibilidad: - ± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidireccional) ± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidireccional) - Carga: → 440N / ↑ 410 N - Máx. Velocidad: 3,4 mm/s - Motor: Piezo Motor - Rodamientos: Rodillo cruzado de acero inoxidable, híbrido - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de retroalimentación: 1 µm

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