Sistema de posicionamiento XYZ 3-Achs-Strahljustage

linealpiezoeléctrico

3-Achs-Strahljustage Sistema UHV XYZ Aplicación: Aplicaciones de escaneado rápidas y de alta resolución Ventaja: - Posicionamiento rápido en UHV, también verticalmente Características: Resolución excepcional, muy delgada, con motor interno - Vacío: todas las áreas HV / UHV hasta 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético | poco magnético | sin imanes - Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Temperatura máx. de horneado 120°C Opciones: - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Puede combinarse con un sistema de transferencia XYZ (por ejemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcionalmente con controlador FMC400/450 - Opcionalmente con controlador de movimiento FMC400/450 Datos técnicos: - Recorrido: 5 mm, 10 mm - Repetibilidad ± 0,2 µm (unidireccional) ± 0,3 µm (bidireccional) - Carga: → 5 N / ↑ 8,8 N - Máx. Velocidad: 10 mm/s - Motor: Motor piezoeléctrico - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados acero inoxidable, híbrido, opcional cerámica completa - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de realimentación:0,1 µm, opcionalmente hasta 0,005 µm