Platina giratoria de alta resolución y apertura estable
UHV, DUV / EUV, sala blanca ISO 6, n x 360°, rep 0,0002°, velocidad 180°/s, carga 15 kg
- Sala blanca: variantes hasta clase ISO 6 (superior bajo pedido)
- Haz: UV, DUV, EUV (rayos X, gamma a petición)
- Vacío: todas las gamas HV / UHV hasta 10-11 mbar
- Lubricación: líquida hasta 10-8 mbar / seca hasta 10-11 mbar
- Máx. Temperatura de cocción 120°C
Opciones:
- Disponible en versión magnética, poco magnética y sin imanes
- Selección de material y lubricación adaptados a la aplicación
- Versión para sala blanca, laboratorio o producción
- Opcional con controlador FMC400/450 o conexión PLC
- Desarrollo específico para el cliente con diseño 3D, prototipos, producción en serie
Campos de aplicación
Inspección / microscopía de alta resolución y excelente estabilidad, p. ej. AFM, microscopio electrónico, microscopio iónico, microscopio electrónico de barrido, microscopio de efecto túnel de barrido, mediciones de luz transmitida en tecnología de semiconductores, inspección de obleas, microscopía de laboratorio, sistemas de imágenes, análisis de muestras, instrumentación de líneas de luz, sincrotrón, investigación de materiales, análisis de materiales
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