Platina de posicionamiento XYZ MP53

piezoeléctrica3 ejesde rodillos cruzados

Microposicionador rápido y preciso HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm de recorrido, 0,2 µm de repetibilidad, 1 kg de carga - Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV - Líquido lubricante hasta 10-8 / seco hasta 10-11 mbar - Máx. Temperatura de horneado 120°C Opcionalmente configurable: - Disponible en versión magnética, de bajo nivel magnético y sin imanes - Diferentes variantes de motor: Motor piezoeléctrico o nanomotion - Opcionalmente con sistema de medición de alta resolución para una repetibilidad de hasta 0,005 µm - Combinable con mesas giratorias para aplicaciones giratorias - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcionalmente con controlador FMC400/450 Manipulador XYZ miniaturizado para aplicaciones de alta precisión o dinámicas El manipulador es un sistema de 3 ejes altamente dinámico para movimientos X, Y y Z en un espacio de instalación muy limitado. Se realizan carreras de hasta 50 mm. El manipulador está equipado con motores piezoeléctricos y, por tanto, puede realizar incrementos de posicionamiento de unos pocos nanómetros para aplicaciones de alta precisión en alto vacío y ultraalto vacío. Equipado opcionalmente con un nanomovimiento, es especialmente adecuado para el posicionamiento altamente dinámico y de alta precisión. Campos de aplicación Posicionamiento de precisión en espacios muy reducidos para aplicaciones de laboratorio, microscopía y tecnología de semiconductores, investigación en vacío ultraalto y bajo radiación ultravioleta extrema, preparación de muestras, escaneado de muestras, manipulación de muestras, ajuste de cámaras, ajuste de sensores, investigación de materiales, análisis de materiales, línea de luz, acelerador, sincrotrón, miniaturización