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- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal LA97-MT85piezoeléctrica2 ejesde precisión
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- piezoeléctrica
- Número de ejes
- 2 ejes
- Otras características
- de precisión, industrial, de manipulación de obleas
- Carrera
Máx.: 200 mm
(7,874 in)Mín.: 20 mm
(0,787 in)- Velocidad
Máx.: 10 mm/s
Mín.: 5 mm/s
- Repetibilidad
Máx.: 30 µm
(0,00118 in)Mín.: 0,02 µm
- Carga
Máx.: 20 kg
(44,09 lb)Mín.: 2 kg
(4,41 lb)
Descripción
Precisión verticalLA97-MT85
Aplicación: Manipulador polivalente
Ventaja: para escaneado de alta resolución
Características: Posicionamiento con muy alta resolución
- Vacío: todos los rangos de presión HV / UHV hasta 10-11
- Magnetismo: magnético
- Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar
- Máx. Temperatura de cocción: 80°C
Opciones:
- Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación
- Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara
- Opcionalmente con unidad de control FMC400/450
- Datos técnicos
- Rango de recorrido: 20 mm - 200 mm
- Precisión de repetición
± 0,02 µm (unidireccional)
± 0,03 µm (bidireccional)
- Carga: → 200 N / ↑ 20 N
- Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s
- Motor: Motor piezoeléctrico
- Guía: Rodamiento de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbrido, cerámica opcional
- Retroalimentación: Sistema de medición lineal
- Sistema de medición de resolución 0.001 µm - 0,1 µm
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