Platina de posicionamiento lineal LA97-MT85

piezoeléctrica2 ejesde precisión

Precisión verticalLA97-MT85 Aplicación: Manipulador polivalente Ventaja: para escaneado de alta resolución Características: Posicionamiento con muy alta resolución - Vacío: todos los rangos de presión HV / UHV hasta 10-11 - Magnetismo: magnético - Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cocción: 80°C Opciones: - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcionalmente con unidad de control FMC400/450 - Datos técnicos - Rango de recorrido: 20 mm - 200 mm - Precisión de repetición ± 0,02 µm (unidireccional) ± 0,03 µm (bidireccional) - Carga: → 200 N / ↑ 20 N - Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s - Motor: Motor piezoeléctrico - Guía: Rodamiento de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbrido, cerámica opcional - Retroalimentación: Sistema de medición lineal - Sistema de medición de resolución 0.001 µm - 0,1 µm