Manipulador eléctrico 3LT300

mediante vacíode posicionamiento3 ejes

manipuladores de 3 ejes a partir de tres LT300 Aplicación: Sistema de posicionamiento de 3 ejes HV Ventaja: extremadamente estable al alcanzar la posición, doble seco Características: Estabilización con freno piezoeléctrico - Vacío: todos los rangos de presión HV / UHV hasta 10-11 - Magnetismo: magnético - Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de horneado 120°C Opciones: - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcionalmente con unidad de control FMC400/450 Datos técnicos - Rango de recorrido 10 mm - 100 mm - Precisión de repetición ± 4 µm (unidireccional) ± 5 µm (bidireccional) - Carga: → 200 N / ↑ 20 N - Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s - Motor: Motor piezoeléctrico - Guía: Rodamiento de rodillos cruzados, acero inoxidable, híbrido - Retroalimentación: Sistema de medición lineal, bucle abierto - Sistema de medición de resolución 0.001 µm - 0,1 µm