Platina de posicionamiento lineal MT130

eléctrica1 ejede precisión

MT130 Platina lineal miniatura EUV 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, recorrido hasta 50 mm, rep 2,3 µm, carga 9 kg, velocidad 40 mm/s - Sala blanca: variantes hasta clase ISO 5 (superior bajo pedido) - Vacío: todas las gamas HV / UHV - Haz: EUV, DUV, UV - Lubricación líquida hasta 10-8 / seca hasta 10-11 mbar - Máx. Temperatura de cocción 120°C Opciones: - Apilable para formar un sistema compacto de posicionamiento de 3 ejes: MP130-3 - Combinable con la platina giratoria DT130 - Rango de recorrido de hasta 80 mm - Sistema de medición de alta resolución - Lubricación EUV, lubricación UHV sin harina / sin PFAS - Desarrollo personalizado con diseño 3D, prototipos, producción en serie Eje lineal EUV compacto con motor interno La etapa lineal en miniatura alcanza muy buenos valores de funcionamiento con rodamiento de rodillos cruzados sin holgura. El accionamiento está integrado en el sistema de posicionamiento altamente compacto. El sistema de posicionamiento también está equipado con un freno magnético permanente. Campos de aplicación Posicionamiento en dimensiones reducidas en salas blancas EUV, p. ej. cámara, microscopio / sensor (AFM, WLI), construcción de sistemas multieje XYZ que ahorran espacio, alineador para la industria y la investigación, sistemas de posicionamiento compactos para salas blancas, inspección de obleas, alineación de sondas de obleas