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Platina de posicionamiento lineal MT85
piezoeléctrica1 ejede precisión

Platina de posicionamiento lineal - MT85 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoeléctrica / 1 eje / de precisión
Platina de posicionamiento lineal - MT85 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoeléctrica / 1 eje / de precisión
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Características

Orientación
lineal
Tipo
piezoeléctrica
Número de ejes
1 eje
Otras características
de precisión, industrial, de manipulación de obleas
Carrera

Máx.: 50 mm
(1,969 in)

Mín.: 25 mm
(0,984 in)

Velocidad

Máx.: 5 mm/s

Mín.: 2,5 mm/s

Repetibilidad

Máx.: 0,3 µm

Mín.: 0,2 µm

Carga

Máx.: 15 kg
(33,07 lb)

Mín.: 6 kg
(13,23 lb)

Descripción

MDT85-PM Ejes y etapas lineales para vacío/sala limpia - Sala limpia: variantes hasta clase ISO 6 (superior bajo pedido) - Vacío: todas las gamas HV / UHV - Haz: UV / DUV / EUV - Lubricación: líquida hasta 10-8 / seca hasta 10-11 mbar - Máx. Temperatura de cocción 140°C Opciones: - Con o sin apertura (Ø 25 mm) - Apilable a un sistema de posicionamiento compacto de 3 ejes - Magnetismo: magnético, bajo en imanes, sin imanes - Lubricación EUV, lubricación UHV sin harina / sin PFAS - Desarrollo personalizado con diseño 3D, prototipos, producción en serie Campos de aplicación Posicionamiento en dimensiones reducidas en la sala blanca EUV, p. ej., cámara, microscopio / sensor (AFM, WLI), mediciones de transiluminación, posicionamiento de microscopía, configuración de sistemas multieje XYZ que ahorran espacio, manipulador para la industria y la investigación, sistemas de posicionamiento compactos para salas blancas, alineación de semiconductores, inspección de haces

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