- Mecánica - Transmisión de potencia
- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal PLT240eléctrica1 ejede precisión
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- eléctrica
- Número de ejes
- 1 eje
- Otras características
- de precisión, industrial, de manipulación de obleas, de alta carga
- Carrera
Mín.: 200 mm
(7,874 in)Máx.: 850 mm
(33,465 in)- Velocidad
Mín.: 15 mm/s
Máx.: 30 mm/s
- Repetibilidad
Mín.: 0,4 µm
Máx.: 0,5 µm
- Carga
Mín.: 20 kg
(44,09 lb)Máx.: 101 kg
(222,67 lb)
Descripción
PLT240
Etapa lineal precisa de alta carga
HV / UV / DUV, ISO 6, recorrido 50 - 850 mm, carga 100 kg, rep 0,4 µm, ancho 240
- Sala blanca: variantes hasta clase ISO 6 (superior bajo pedido)
- Vacío: todas las áreas en alto vacío, líquido lubricante hasta 10-7
- Máx. Temperatura de cocción: 80°C
Opciones
- Husillo con lubricación seca o husillo de bolas con lubricación líquida
- Diseño para sala blanca, vacío y viga
- Diseño para atmósfera de nitrógeno
- Desarrollo personalizado con diseño 3D, prototipos, producción en serie
- Opcional con controlador FMC400/450
Campos de aplicación
Fabricación y manipulación de semiconductores, posicionamiento DUV de alta carga, posicionamiento para aplicaciones de escaneado, posicionamiento de transferencia, tecnología de semiconductores, vacío ultraalto, cámaras de vacío, investigación, instrumentación de líneas de luz, montaje e inspección de componentes electrónicos
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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