- Mecánica - Transmisión de potencia
- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal KT106/170eléctrica1 ejede precisión
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- eléctrica
- Número de ejes
- 1 eje
- Otras características
- de precisión, industrial, de manipulación de obleas
- Carrera
136 mm, 170 mm
(5,354 in, 6,693 in)- Velocidad
Mín.: 10 mm/s
Máx.: 20 mm/s
- Repetibilidad
Mín.: 0,6 µm
Máx.: 0,9 µm
- Carga
Mín.: 49 kg
(108,03 lb)Máx.: 79 kg
(174,17 lb)
Descripción
KT106/170
Platina XY
HV / UV / DUV, ISO 4, Recorrido 136 x 170 mm, Rep 2,9 µm, Carga 5 kg, Velocidad 20 mm/s
- Sala blanca: variantes hasta clase ISO 4 (superior bajo pedido)
- Vacío: todas las gamas HV hasta 10-7 mbar
- Lubricación: líquido hasta 10-7 mbar
- Max. Temperatura de horneado 100°C
- Relación calidad-precio optimizada
Opciones:
- Combinable con etapas giratorias (p. ej. DT105)
- Versión para sala blanca, laboratorio o producción
- Desarrollo específico para el cliente con diseño 3D, prototipos, producción en serie
- Opcionalmente con controlador de movimiento FMC400/450
Campos de aplicación
Posicionamiento para tecnología de semiconductores, micro o nanofabricación, espectrómetro de masas, espectrómetros de fotoelectrones, aplicaciones de laboratorio, microscopía, investigación en alto vacío, preparación de muestras, escaneado de muestras, manipulación de muestras, inspección de obleas, investigación de materiales, análisis de materiales
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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