Sistema de posicionamiento para inspección de obleas y metrología KT470-SM

XYZlinealpara sala blanca

Este sistema de inspección consta del XY-Stage KT470 sobre una estructura de granito con una unidad vertical Z manual. Esta combinación es adecuada para el diseño flexible y modular de sistemas de producción / procesos en línea para salas blancas y puede ampliarse opcionalmente con ejes Z giratorios o motorizados. Ideal para procesos de inspección flexibles de obleas de hasta 12 pulgadas / 300 mm Soporte para cabezales de proceso intercambiables (microscopio, sensor, ...) Varios rangos de escaneado y ajuste manual de altura (opcionalmente motorizado con controlador de movimiento) Bajo mantenimiento para una producción 24/7 hasta la clase de sala blanca ISO 6 (superior bajo pedido) Opciones: Rango de desplazamiento ampliable XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm Adaptación al proceso: apertura, portamuestras, ampliación de ejes Z adicionales (motorizados) Desacoplamiento de vibraciones adaptado mediante capa intermedia de goma amortiguadora o amortiguadores neumáticos Concepto y tecnología de seguridad (parada de emergencia, interruptor de puerta, cortina de luz, escáner láser, STO, SLS) Diseño personalizado con bastidor, caja o integración en la fábrica Desarrollo específico para el cliente con diseño 3D, prototipos, producción en serie