Platina de posicionamiento compatible de vacío MT105 series

linealpiezoeléctricacon motor lineal

- Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Líquido de lubricación hasta 10E-8 / seco hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cocción 120°C Opcionalmente configurable: - Disponible en versión magnética, poco magnética y libre de imanes - Con hasta 2 motores diferentes para el movimiento de cargas elevadas - Diferentes variantes de motor: Nanomotion, motor piezoeléctrico o motor lineal - Combinable con el sistema de posicionamiento XYZ - Combinable con mesas giratorias (por ejemplo, DT105) para aplicaciones giratorias - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición) - Opcional con controlador FMC400/450 Flexible y universal para condiciones ambientales exigentes La MT105 es una microplatina de uso universal que impresiona sobre todo por su alta dinámica y velocidad. Está diseñada para lograr excelentes precisiones de funcionamiento y posicionamiento en condiciones extremas, como en alto vacío, ultra alto vacío y para aplicaciones no magnéticas. Opcionalmente, la microplatina puede equiparse con dos motores para posicionar cargas mayores. Campos de aplicación Tecnología de semiconductores en ultra-alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema, alineación de obleas, alineación de cámaras, alineación de sensores, inspección de contactos, alineación de espejos, sondeo, cámaras de vacío, investigación, instrumentación de líneas de luz, montaje e inspección de componentes electrónicos, aplicaciones de escaneo de alta precisión, micromontaje