- Mecánica - Transmisión de potencia
- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento XYZ
- Steinmeyer Mechatronik GmbH
Platina de posicionamiento compatible de vacío LA170 seriesXYZmotorizadamultieje
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Características
- Orientación
- XYZ
- Tipo
- motorizado
- Número de ejes
- multieje
- Otras características
- de alta precisión, compatible de vacío, para microscopio, para carga pesada, con motor paso a paso empotrable, con controlador, de manipulación de obleas, de rodillos cruzados
- Carrera
60 mm, 130 mm
(2,362 in, 5,118 in)- Velocidad
5 mm/s
- Repetibilidad
Mín.: 0,5 µm
Máx.: 4 µm
Descripción
- Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar
- Líquido de lubricación hasta 10E-8 / seco hasta 10E-11 mbar
- Máx. Temperatura de horneado 120°C
- Disponible en versión magnética
Opcionalmente configurable:
- Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación
- Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara
- Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición)
- Opcional con controlador FMC400/450
Se utiliza como un potente componente para sistemas multieje, así como para el escaneo de varias muestras simultáneamente. Permite un posicionamiento muy fino con cargas elevadas en ultravacío, incluso en dirección vertical.
Áreas de aplicación
Configuración de sistemas multieje, automatización de procesos, escaneo 3D, escaneo de muestras, posicionamiento de sistemas de imagen, microscopía, análisis de muestras, inspección de semiconductores, garantía de calidad en biotecnología y tecnología de semiconductores, investigación, línea de haz, acelerador, sincrotrón
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Vacuum linear stages, lifting stages
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