- Vacío: todas las gamas HV hasta 10-8 mbar
- Líquido de lubricación hasta 10-8 mbar
- Temperatura máx. Temperatura de cocción 100°C
Opcionalmente configurable:
- Variantes magnéticas y poco magnéticas disponibles
- Selección de materiales y lubricación por vacío adaptada a la aplicación
- Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara
- Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición)
- Opcional con controlador FMC400/450
Etapa giratoria pequeña y muy dinámica
La etapa giratoria de vacío más pequeña de la cartera de productos impresiona por su gran dinámica y velocidad. Con su diseño de vacío y bajo nivel magnético, la DT65 es perfectamente adecuada para aplicaciones en entornos exigentes. Por ello, se utiliza sobre todo en la investigación y el desarrollo, así como en la física experimental. Puede combinarse en sistemas multieje exigentes y puede controlarse fácilmente mediante nuestros controladores FMC 400/450.
Campos de aplicación
Investigación y desarrollo, configuración de sistemas multieje, instrumentación de líneas de luz, sincrotrón, investigación de materiales, análisis de materiales, inspección de obleas, control de calidad de semiconductores, investigación de semiconductores
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