Mesa de posicionamiento vertical HDT255 series

motorizadade precisiónpara cargas pesadas

- Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV hasta 10-11 mbar - Lubricación líquida hasta 10-8 / seca hasta 10-11 mbar - Máx. Temperatura de horneado 120°C - Clase de sala limpia 4 ISO 14644-1 (hasta clase 1 a petición) - Disponible en versión magnética Configurable opcionalmente: - Con o sin apertura - Diferentes recorridos - Opcionalmente con y sin sistema de medición - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Opcionalmente con controlador FMC400/450 Etapa de elevación precisa para cargas elevadas La etapa de elevación con apertura es adecuada para movimientos verticales de alta precisión en condiciones extremas, como en alto vacío, ultra alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema. Gracias a su principio de elevación de cuña, alcanza sus parámetros a pesar de su baja altura total de 125 mm. La combinación de un motor paso a paso y un husillo de bolas de precisión, opcionalmente un husillo de deslizamiento, permite tamaños de paso muy pequeños con cargas comparativamente altas. Áreas de aplicación Campos de aplicación Posicionamiento de precisión en la industria y la investigación en ultra alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema, alineación e inspección de obleas, tarjetas de sonda y placas de circuitos impresos, análisis de superficies, medición del espesor de las capas, alineación de cámaras, investigación de materiales, análisis de materiales, inspección, microscopía en vacío, línea de haz, acelerador, sincrotrón