Platina de posicionamiento para cargas pesadas HT240 series

verticalmotorizadade alta precisión

- Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Líquido de lubricación hasta 10E-8 / seco hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de horneado 120°C - Disponible en versión magnética - Clase de sala limpia 4 según ISO 14644-1 (hasta clase 1 a petición) Opcionalmente configurable: - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de la instalación en la cámara - Opcional con controlador FMC400/450 Etapa de elevación precisa para cargas elevadas de hasta 40 kg La etapa de elevación es adecuada para movimientos verticales de alta precisión en condiciones extremas, como en alto vacío, ultra alto vacío. Gracias a su principio de elevación por cuña, alcanza sus parámetros a pesar de su baja altura total de 90 mm. La combinación de un motor paso a paso y un husillo de bolas de precisión, con husillo opcional, permite obtener tamaños de paso mínimos con cargas comparativamente altas. Campos de aplicación Posicionamiento de precisión en la industria y la investigación en ultra alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema, alineación de obleas, inspección de obleas, alineación de cámaras, investigación de materiales, análisis de materiales, inspección, microscopía en vacío, línea de haz, acelerador, sincrotrón