Sistema de posicionamiento XYZ 782481:001.26

de pórticopara inspección de obleas y metrologíapara microscopía

Pórtico XYZ AFM para inspección de obleas, microscopía | recorrido hasta 550 x 1550 mm | cojinete de aire, husillo de bolas, correa, motor paso a paso Pórtico de cojinetes de aire para AFM altamente estable con grandes rangos de desplazamiento Este pórtico XYZ muy rígido está especialmente diseñado para el examen de alta precisión de muestras de vidrio especialmente grandes mediante microscopía de fuerza atómica (AFM). Sobre la plataforma de muestras en forma de U se encuentra un voladizo móvil en Z para el AFM personalizado. El cantiléver puede alinearse con precisión con la muestra y desplazarse a cualquier punto dentro de la forma de U para la adquisición del relieve de la superficie. El cojinete de aire proporciona una excelente precisión de posicionamiento en el plano. El peso máximo de la muestra es de 500 kg. Estabilidad atómica para mediciones exigentes - Ideal para mediciones muy rígidas y precisas sin la influencia de las vibraciones - Alto rendimiento gracias a los recorridos de 150 x 275 x 50 mm, ampliables a 550 x 1550 x 50 mm - Estabilidad extrema en parada de 5 nm y mejor - Extraordinaria vida útil gracias al uso de cojinetes de aire sin desgaste Opcionalmente ampliable: - Integración de más sensores en el proceso - Adaptación a medida de los recorridos, la combinación de longitudes, el cableado y el sistema de control - Pies para una protección adicional contra las vibraciones del edificio - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición) - Conexiones para el escape - Configuración especial para biotecnología, tecnología médica, productos farmacéuticos, semiconductores - Opcional con controlador preconfigurado incl. software de ejemplo para uso inmediato