Doble eje lineal XY para el ajuste de alta precisión de lentes para steppers de obleas | exposición ultra fina a los rayos UV en la sala blanca - Montajes de precisión
Ajuste de alta precisión de dos ópticas
Este eje lineal doble de alta precisión se ha desarrollado especialmente para los steppers de obleas. Dos ópticas deben posicionarse una respecto de la otra y también juntas para realizar estructuras aún más finas durante la exposición UV. Esta solución consiste en dos ejes de deslizamiento sobre un sistema de guía común. Los dos ejes de deslizamiento tienen tres carros cada uno, lo que les permite moverse parcialmente uno dentro del otro para juntar las lentes lo más posible.
Imágenes ultrafinas en un entorno extremadamente seco
- Desarrollado específicamente para maximizar el rendimiento y la resolución de los sistemas de paso de obleas
- Posicionamiento simultáneo de las lentes entre sí y con las demás en una distancia de recorrido de 350 mm
- Repetibilidad de 1,5 µm en condiciones de sala limpia extremadamente secas
- Fácil mantenimiento gracias a un conjunto de codificador de motor reemplazable
Características especiales:
- Compatibilidad con los rayos UV
- Superficies pulidas
- Versiones para sala limpia ISO 14644-1 (hasta clase 1 a petición)
- Uso inmediato con el controlador preconfigurado, incluido el software de ejemplo
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