Sistema de posicionamiento XYZ 782300:222.26

linealpara inspección de obleas y metrologíapara la industria de los semiconductores

Inspección de obleas en línea XYZ automatizada con gran capacidad de muestras Este sistema de inspección está especialmente diseñado para el control de calidad automatizado de portadores grandes y planos de hasta 50 kg. El sistema de posicionamiento permite colocar simultáneamente el sensor en Z y la muestra en XY en un espacio muy compacto. El robusto sistema también permite el uso de sensores pesados o sistemas de cámaras de hasta 20 kg en Z. El accionamiento del husillo, en combinación con un freno de husillo, garantiza un autocontrol óptimo, de modo que se puede mantener una posición vertical en el estado desenergizado. El sistema cerrado de bajas emisiones también es apto para entornos industriales difíciles con polvo y humo. En el granito se ha instalado un sistema de suspensión para el paso de los cables. Diseño compacto con una relación precio/rendimiento optimizada - Ideal para la inspección de la superficie de grandes soportes de hasta 650 x 650 mm - Medición precisa con una repetibilidad de hasta 2 µm - Buena relación calidad-precio gracias al accionamiento con motor paso a paso - Eje Z fuerte y robusto para sensores, microscopios y cámaras de hasta 20 kg - Adecuado para entornos industriales, por ejemplo, polvo y humo Opcionalmente ampliable: - Varios recorridos hasta 1000 mm - Con/sin marco y placa base de granito o aluminio - Versiones ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición), por ejemplo, con caja y con sistema de escape - Soluciones individuales para el tendido de cables - Desacople de vibraciones adaptado mediante capa de goma amortiguadora o amortiguadores neumáticos - Uso inmediato con el controlador preconfigurado, incluido el software de ejemplo