Sistema de posicionamiento XYZ 782300:265.26

linealpara inspección de obleas y metrologíapara la industria de los semiconductores

Medición óptica sin contacto de gran estabilidad. Esta combinación XY cuenta con una unidad vertical Z independiente para montar un microscopio, una cámara o un sensor a medida. La platina transversal KT310 con motor paso a paso en la placa de granito desplaza la oblea objeto de inspección hacia el microscopio con gran precisión y permite obtener imágenes estables y de alta resolución. Su concepto con motores internos, guías de rodillos cruzados y tornillos de bolas de alta precisión permite una precisión extraordinaria con un uso óptimo del espacio de instalación Análisis de alta precisión de los detalles más pequeños - Ideal para la inspección óptica de obleas, placas de circuitos impresos y tarjetas de sondeo - Fácilmente adaptable a varios microscopios, cámaras o sensores personalizados - Inspección superficial de alta precisión de obleas de hasta 200 x 200 mm - Bajo mantenimiento y con una relación precio-rendimiento optimizada gracias al accionamiento por motor paso a paso Ampliaciones opcionales: - Otros recorridos y longitudes - Con/sin bastidor y placa base de granito o aluminio - Versiones ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición), por ejemplo, con caja y con sistema de escape - Soluciones individuales para el tendido de cables - Desacople de vibraciones adaptado mediante capa de goma amortiguadora o amortiguadores neumáticos - Integración en la aplicación global específica del cliente