Sistema de posicionamiento XYZ 782300:199.26

4 ejeslinealpara inspección de obleas y metrología

Sistema de inspección XYZ Phi adecuado para obleas de 12 pulgadas, placas de circuitos impresos (sala limpia ISO 2) - Inspección y Microscopía Pórtico universal de 4 ejes de granito con carcasa para sala limpia Este sistema de posicionamiento XYZ Phi puede utilizarse para diversos procesos de prueba e inspección en la fabricación de semiconductores y productos electrónicos hasta la clase de sala limpia ISO 2. Gracias al diseño de los recorridos de hasta 320 x 320 mm en XY, es adecuado para todos los tamaños de oblea estándar de hasta 12 pulgadas. Las muestras se manipulan con gran precisión hacia un láser, un sensor o una cámara en el eje Z mediante la platina mecánica KT405-320-EDLM accionada por un motor lineal. El sensor o la cámara se ajustan en movimiento vertical (máximo 50 mm) con la platina de medición de precisión PMT160-050-DC-R/L, que puede complementarse opcionalmente con una unidad giratoria.. Pruebas de alta precisión en salas blancas exigentes - Ideal para procesos de prueba e inspección exigentes en la tecnología de semiconductores, la biotecnología y la industria farmacéutica - Rápida adaptación a diferentes tareas de medición y ensayo - Medición de alta precisión con repetibilidad de hasta 0,3 µm a altas velocidades de hasta 100 mm/s - Concepto de seguridad con cubierta protectora - Libre de emisiones hasta la clase 2 de sala blanca ISO - Suministro del sistema con base de granito sobre amortiguadores, marco de acero incl. control completo con cubierta protectora y carcasa pintada Opcionalmente ampliable: - Versiones ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición) - Brazo giratorio para sensor con eje giratorio DT200 - Placa base de granito o aluminio - Otros recorridos y diferentes muestras - Adaptable para su integración en procesos automatizados - Uso inmediato con el controlador preconfigurado, incluido el software de ejemplo