Platina de posicionamiento compatible de vacío LA92-40-LM-L

linealmotorizada1 eje

Eje lineal de alta velocidad HV / UHV / EUV, recorrido de 40 mm, repetibilidad de 0,4 µm, hasta 2 kg de carga Vacío: todas las áreas HV / UHV hasta 10E-11 mbar Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar Máx. Temperatura de cocción 120°C Configurable opcionalmente: - Disponibles versiones magnéticas, de bajo nivel magnético y sin imanes - Selección de materiales y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Puede combinarse con un sistema de transferencia rápida XYZ (por ejemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con controlador FMC400/450 Rápido posicionamiento horizontal y vertical en UHV El eje lineal se utiliza principalmente para escanear muestras. Permite un posicionamiento rápido con una resolución extremadamente alta en ultra alto vacío, también en dirección vertical. Tiene un diseño muy estrecho con motores internos. Áreas de aplicación Aplicaciones de escaneo rápido y de alta resolución, microensamblaje, tecnología de semiconductores en ultravacío, cámaras de vacío, investigación, instrumentación de líneas de luz, ensamblaje e inspección de productos electrónicos.