Platina de posicionamiento lineal LA80 series

motorizada1 ejede alta precisión

Etapa lineal de alta velocidad HV / UHV / EUV, 200 -500 mm de recorrido, 0,4 µm de repetibilidad, 5 kg de carga - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Vida útil en el rango de los kilómetros a pesar de la lubricación en seco - Máx. Temperatura de cocción 120°C - Disponible en versión magnética Configurable opcionalmente: - Opcionalmente con y sin sistema de medición - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Puede combinarse con un sistema de transferencia rápida XYZ (por ejemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versiones para sala limpia ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con el controlador FMC400/450 Larga vida útil a pesar del funcionamiento en seco Este eje lineal se utiliza como un potente componente para sistemas multieje y para sistemas de transferencia altamente dinámicos. Permite un posicionamiento rápido con una resolución extremadamente alta en ultra vacío, incluso en la dirección vertical. Un husillo de bolas garantiza una gran rigidez y estabilidad de parada a alta velocidad. El sistema no requiere lubricantes líquidos y sigue ofreciendo una vida útil de muchos kilómetros. Campos de aplicación Sistemas de transferencia de alta precisión en ultra alto vacío bajo radiación ultravioleta extrema, fabricación de semiconductores, conformación de haces para procesos de exposición, análisis de superficies y posicionamiento de sensores, espectrometría de masas, procesos de recubrimiento de OLED, medición del grosor de la capa y medición de la tasa de capa, recubrimiento de superficies (sputtering, deposición de vapor), salidas de haces, montajes experimentales, conjuntos de sensores para investigaciones de muestras cercanas a su estado nativo