Platina de posicionamiento XY KDT600-EDLM

con motor lineal2 ejesde alta precisión

Etapa de exploración con gran apertura Esta platina xy de gran precisión está diseñada para obtener la máxima repetibilidad. Se puede conseguir una precisión con compensación de forma económica, que de otro modo sólo está reservada a los sistemas de cojinetes de aire.Se utilizan guías de rodillos cruzados pulidos para una repetibilidad de la rectitud y la planitud de + -0,15 µm. Gracias a la gran luz transmitida, los sustratos de gran tamaño también pueden medirse desde ambos lados o con fluoroscopia. También ofrece la opción de medición diferencial para aprovechar toda la precisión del sensor en las aplicaciones de medición. Incluso cuando la platina se mueve por completo, siempre se mantiene una abertura de al menos 60 mm x 60 mm. Aplicaciones de exploración más rápidas con alta aceleración Resultados de escaneado extremadamente rápidos gracias a una velocidad de posicionamiento de 330 mm/s Escanee cargas elevadas con una resolución extrema de 0,05 µm Coste optimizado para lograr un rendimiento comparable al de los sistemas de cojinetes de aire Funcionamiento sin mantenimiento hasta 500.000 carreras completas, después sólo es necesaria una simple relubricación - Vida útil de hasta dos millones de carreras completas - gestión de cables integrada, terminal enchufable Campos de aplicación Aplicaciones de escaneo rápido y desplazamiento dinámico de la red, por ejemplo, inspección de semiconductores, sistemas de medición, inspección óptica automática (AOI), dispositivos de medición, medición diferencial, sustitución de sistemas de cojinetes de aire