Sistema de posicionamiento de alto vacío LA80-2LA95

multieje3 ejesXY

Sistema UHV rápido de 3 ejes LA80-LA90 UV / UHV / EUV, máx. 500 mm de recorrido, 2 µm de repetibilidad, 5 kg de carga Esta etapa de transferencia rápida es adecuada para aplicaciones precisas, rápidas y de larga duración en ultra alto vacío. También cumple los requisitos para su uso bajo radiación ultravioleta extrema gracias a su bajísima emisión y a su bajo número de partículas. Los ejes están disponibles en los tamaños LA80, LA95 y LA170 y están diseñados para cargas de hasta 20 kg en funcionamiento vertical. Esta combinación de ejes fue desarrollada en el marco del "tOMography Nano crYo (OMNY)" con el Paul Scherrer Institut (PSI). Preciso, rápido y duradero en ultra alto vacío - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Vida útil en el rango de los kilómetros sin lubricación líquida - Máx. Temperatura de cocción 120°C - Disponible en versión magnética Opción: - Recorridos específicamente adaptables a su aplicación hasta 510 x 80 x 80 mm - Sin retroalimentación como sistema de motor paso a paso puro hasta 5 µm de repetibilidad - Excelente parada en el rango nanométrico gracias a los frenos de pinza piezoeléctricos adicionales en Z e Y - Husillo de bolas en Z e Y para mayor velocidad y vida útil con lubricación - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 clase 4 (hasta clase 1 bajo pedido) Referencias OMNY-A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247